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多晶硅后处置阶段氟化氢和氮氧化物废气处置装置如何选择汲取液才适合

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人气:-颁布时间:2015-10-22 14:00【

  在多晶硅后处置阶段,会发生氟化氢与氮氧化物两种极难处置汲取的废气,如何保证氟化氢和氮氧化物废气处置装置处置废气达标,汲取液的选择是重中之重,这也是困扰很多厂家多年的问题。
  下面海王星娱乐网站小编列举一个在内蒙古鄂尔多斯的一个真实案例来说明,下表为两套废气的工况参数和废气组分的有关参数。

多晶硅后处置阶段氟化氢和氮氧化物废气处置装置如何选择汲取液才适合

  废气组分主要为NOX和HF,浓度分别为6000mg/m3和1000 mg/m3,应付NOX而言,当前NOX的处置主要是液体汲取工艺为主,应付液体工艺而言,NOX的汲取效率都是随着氧化度升高而升高,通常当氧化度≥0.5时的效果最佳。考虑到案例中发生NOX的生产工艺,判定废气中的氮氧化物应以NO2为主,适合采纳碱液直接汲取的处置方案,考虑到硝酸盐废水的高毒性和难处置的特性,在碱汲取液中加入硫代硫酸钠将NOX转化为无害的氮气,汲取液中的硝酸盐转化成低毒的硫酸盐。
  应付废气中HF而言,当前的处置工艺主要以碱汲取为主,上述汲取液体系完全适用。最终确定汲取液的成分为X%NaOH+X%Na2S2O3(因保密,无法提供详细配比),工艺中主要化学反应如下:
  2NaOH﹢3NO2=2NaNO3﹢NO↑﹢H2O
  2NaOH﹢NO﹢NO2=2NaNO2﹢H2O
  4NO2+2NaS2O3+4NaOH=2N2↑+4Na2SO4+2H2O
  HF + NaOH = NaF + H2O
  现氟化氢废气处置装置已运行5年,排放值在5-7mg/m³,氮氧化物废气处置装置已运行4年半,排放值在200mg/m³。

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